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激光干涉儀是最常使用的加工中心檢測設(shè)備，它是精密長度測量和確立線位移精度的標(biāo)準(zhǔn)。
首先，新機(jī)床出廠前都要進(jìn)行定位精度和重復(fù)定位精度以及反向間隙的檢測，現(xiàn)在大多使用激光干涉儀進(jìn)行�！ �
其次，任何機(jī)床加工設(shè)備，在長時間的使用都會由于自身磨損或者其它一些原因造成加工超差的發(fā)生。立式加工中心也不列外，一般出現(xiàn)這種情況時，都要進(jìn)行機(jī)床精度檢測。機(jī)床使用一段時間后,由于絲杠的磨損和其它原因,精度會逐漸喪失,這時需要使用激光干涉儀進(jìn)行精度的再校準(zhǔn)�！ �
最后，激光干涉儀還可以進(jìn)行其它項目的檢測，例如直線度，垂直度，角度等。
采用激光干涉儀可以提供調(diào)整線位移位置的能力，以修正行程誤差也就是節(jié)距誤差。此外，許多新型的激光干涉儀能提供在兩個正交方向的直線度修正和坐標(biāo)正交性的修正。
誤差修正常常是基于三維網(wǎng)格方式，它們是加工中心有效空間的一組點(diǎn)位。對網(wǎng)格中的每一個特定的X、Y和Z的點(diǎn)，給出一個修正值。對每一個點(diǎn)，誤差綜合成一個修正值就需要建立誤差模型和進(jìn)行計算，通過激光干涉儀可以輕而易舉的進(jìn)行修正。
如果一個控制器不能補(bǔ)償立式加工中心的所有誤差并且單獨(dú)的線位移補(bǔ)償不能提供期望的結(jié)果，其修正仍然可以實現(xiàn)，只要變換由標(biāo)尺(編碼器)系統(tǒng)提供給控制器的信息即可。這需要使用第二個控制器來實現(xiàn)，第二個控制器將會變換提供給基于誤差模型分 析軟件的立式加工中心原來控制器的機(jī)床標(biāo)尺信息，不管怎樣所得到的結(jié)果是相同的。
用激光系統(tǒng)來評定加工中心可以作快速和綜合的分析，這些工作若用其它方法來做，將很耗費(fèi)時間且又不經(jīng)濟(jì)。用激光測試儀誤差模型軟件分析數(shù)據(jù)降低了處理過程的復(fù)雜性，并可不斷生產(chǎn)出合格工件。
